微小形状スイッチアレイ

開放特許情報番号
L2008004384
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2008-133741
出願日 2008/5/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-283264
公開日 2009/12/3
登録番号 特許第5182871号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 微小形状スイッチアレイ
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 微小形状スイッチアレイ
目的 簡単な方法で作製可能であり、微小構造の形状変化を起こす場所を特定し、形状変化の角度を制御することができ、微小構造が外場に応じて可逆的にスイッチできる微小形状スイッチアレイを提供する。
効果 この構造は外場である圧縮の主応力軸方向の角度変化に応じて、離散的な状態間をスイッチさせることができる微小な可動構造であり、かつ従来のマイクロマシン作製よりも簡単に得ることができる。
技術概要
伸縮可能な支持体に密着した表面薄膜の微小領域での座屈変形に基づいて特性空間周波数を有する微細凹凸構造を備えた微小形状スイッチアレイは、薄膜が微細加工パターンを有する2以上の固定化領域と固定化領域間に挟まれた1以上の可変領域を有し、外部応力により離散的な複数の形状状態を取り得、その状態間のスイッチングが外部応力の変化で制御できる。微細加工パターンは、突起構造、溝構造、硬さの異なる領域のいずれかの周期的な配列構造である。微細加工パターンの周期は、200nm〜200μmである。図1に示すように、伸縮可能な支持体(A)に予め人工パターン(B)を導入し、その表層に薄膜(C)を形成することで、外場の主応力軸方向(D)の変化による局所溝方向(E)が変化する場所(可変領域)を限定し、かつ、その変化の角度を規定する技術を提供することができる。支持体(A)の材料は、可逆的な変形が可能な圧縮変形長さ比が0.75〜0.97程度の材料である。この材料は、ポリジメチルシロキサン、ジフェニルシロキサンなどのポリシロキサン系ポリマー、シリコーン樹脂/シリコーンゴム等である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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