圧電体の製造方法および圧電素子

開放特許情報番号
L2008004355
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2008-118613
出願日 2008/4/30
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-270127
公開日 2009/11/19
登録番号 特許第5136986号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 圧電体の製造方法および圧電素子
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 圧電体および圧電素子
目的 高温での時定数が向上されるよう材料設計された、ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウム圧電体を提供する。
効果 窒化アルミニウム中に酸素を含有させ、さらにその酸素を安定な状態とすることができる。このため、圧電体の高温での抵抗値を向上させることができる。すなわち、得られる圧電体の時定数が向上される材料設計が可能となるので、高温での安定した使用が可能な圧電体を製造することができる。
技術概要
ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウムからなる圧電体の製造方法において、酸素の含有量が0.001%以上、0.5%以下であり、アルゴンおよび窒素の合計含有量が99.5%以上、99.999%以下である混合気体の存在下において、アルミニウムと上記混合気体とを反応性スパッタリング法によって反応させ、反応性スパッタリング法により合成した窒化アルミニウムを500℃以上、850℃以下の温度にて加熱する。また、反応性スパッタリング法により合成した窒化アルミニウムを700℃以上、800℃以下で加熱する圧電体の製造方法である。また、酸素の含有量が0.1%以上、0.5%以下である圧電体の製造方法である。さらに、この圧電体の製造方法によって製造された圧電体を有する圧電素子である。これにより、高温にて好適に使用することができる圧電体および圧電素子を提供することができる。図1はこの圧電素子の電気的特性に係る計測結果を示すグラフである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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