マイクロ波プラズマ処理装置

開放特許情報番号
L2008004315
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2008-087100
出願日 2008/3/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-245593
公開日 2009/10/22
登録番号 特許第4793662号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 マイクロ波プラズマ処理装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ波プラズマ処理装置
目的 大量、かつ高速プロセスを行うために密度の高い均一性と高密度のプラズマを発生すること、大面積のプラズマを発生すること、大電力で運転、かつ、長時間運転しても誘電体窓の熱破壊を防止すること、が可能なマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。
効果 従来、大電力運転において誘電体窓の熱破壊の原因であった諸問題、すなわち、局所的な異常放電、誘電体窓の過熱、誘電体窓の大きい温度勾配などの問題の発生が著しく緩和でき、より大電力運転で可能なマイクロ波プラズマ装置の提供が可能となる。これにより、大量、かつ高速プロセスが実現できる、密度の高い均一性と高密度、かつ大面積のプラズマ処理装置の提供が可能となる。
技術概要
図1は、マイクロ波プラズマ処理装置を模式的に示すものであって、導波管の管軸方向に沿って切った装置の断面図である。図2は、図1に示すマイクロ波プラズマ処理装置70を、上面から見た場合の導波管の配置と結合孔の位置を示す図である。マイクロ波電力を供給して処理室にプラズマを発生させるプラズマ処理装置70であって、マイクロ波電力を供給するために配設された導波管20と、導波管20の管軸方向に沿って配設された複数個のマイクロ波結合孔71a〜71eと、導波管20の管軸方向に沿って、かつマイクロ波結合孔71a〜71eの下方に配設された1枚板からなるマイクロ波が透過可能な誘電体部材と、複数個のマイクロ波結合孔と誘電体部材との間に設けられた隙間77と、誘電体部材を冷却するための冷却手段と、を具備するマイクロ波プラズマ処理装置70であり、また、好ましくはマイクロ波結合孔として、環状形状をしたマイクロ波結合孔71a〜71eを用いる。図3は環状形状結合孔を示す模式図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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