スペクトルイメージング分光装置を用いたエレクトロルミネッセンス素子の3次元発光中心分布の解析方法

開放特許情報番号
L2008004271
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2009/11/6

基本情報

出願番号 特願2008-057047
出願日 2008/3/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-216392
公開日 2009/9/24
発明の名称 スペクトルイメージング分光装置を用いたエレクトロルミネッセンス素子の3次元発光中心分布の解析方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 エレクトロルミネッセンス素子の発光中心解析に適用する。
目的 スペクトルイメージング分光装置を用いるエレクトロルミネッセンス素子の3次元発光中心分布の解析方法を提供する。
効果 エレクトロルミネッセンス素子の発光中心の深さ方向分布および面内分布を非破壊で解析することが可能になる。
技術概要
スペクトルイメージング分光装置を用いて、解析対象のエレクトロルミネッセンス素子(EL素子)の素子発光面内におけるエレクトロルミネッセンススペクトルのマッピング測定を行い、エレクトロルミネッセンススペクトルマップを作成するステップと、EL素子の深さ方向に単一発光領域を予測して分布関数を設定するか、または、EL素子の深さ方向に複数の異なる発光領域を予測し分布関数を設定して、この分布関数を構成するパラメータがエレクトロルミネッセンススペクトルの測定値を満足するように光多重干渉を考慮した計算法を用いてフィッティングを行い、発光中心の最適な素子深さ方向分布および素子面内分布を推定するステップとから行なうEL素子の3次元発光中心分布の解析方法にする。尚、スペクトルイメージング分光装置として、ステージコントローラ9の駆動によりX−Y方向に移動可能な自動ステージ8上に測定対象のEL素子1を設置し、素子駆動電源10からの電圧印加によるEL素子1からの発光を、対物レンズ2を通じて発光検出系に導入する構成を有する装置が用いられる(図)。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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