静電チャック装置および静電チャック方法

開放特許情報番号
L2008003933
開放特許情報登録日
2008/8/8
最新更新日
2008/8/8

基本情報

出願番号 特願平04-320575
出願日 1992/11/30
出願人 株式会社東芝
公開番号 特開平06-169008
公開日 1994/6/14
登録番号 特許第3269678号
特許権者 株式会社東芝
発明の名称 静電チャック装置および静電チャック方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 静電チャック装置
目的 従来の静電チャック方法では、高電圧を印加すると、静電チャックと周囲の金属との間に放電が起こり易く、絶縁層の表面に電子がチャージされ、試料が絶縁層に接触する際にプッシャピンを介して移動する電子の量が少なくなるため、十分なチャッキング力が得られなくなるという問題がある。 本発明は実情に鑑みてなされたもので、安定したチャッキングを行うことのできる静電チャック装置および静電チャック方法を提供することを目的とする。
効果 、本発明によれば、安定したチャッキング力を良好に発揮し、安定な加工を行うことが可能となる。
技術概要
 
本発明の静電チャック方法は、電極が埋め込まれ、表面が絶縁化された試料支持台に、試料支持台から離間した位置に試料を支持し、電極と試料およびその周辺部との間に放電が生じない程度の低い電圧を電極に印加する工程と試料を動かし試料支持台に接触したとき、電極により高い電圧を印加し静電的に保持する工程とを含む方法である。また、本発明の静電チャック装置は、電極が埋め込まれ、表面が絶縁化された試料支持台と、試料支持台に対する高さを変化できるように構成され試料を載置して、下降せしめ試料支持台に接触可能なように構成され接地電位に接続された導電性の支持棒と、電極に電位を付与するための電源と、支持棒を流れる電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段の電流変化を検知し、所定の電流以上となったとき電極の電位をより高くするように電源電位を制御する制御手段とを具備した構成である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社東芝

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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