固体撮像素子及び該素子を用いた撮像装置

開放特許情報番号
L2008003642
開放特許情報登録日
2008/7/18
最新更新日
2008/7/18

基本情報

出願番号 特願2006-021610
出願日 2006/1/31
出願人 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
公開番号 特開2007-207789
公開日 2007/8/16
発明の名称 固体撮像素子及び該素子を用いた撮像装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 固体撮像素子及び該素子を用いた撮像装置
目的 蛍光測定において励起光や蛍光の波長とは無関係に、励起光の影響を十分に軽減して高いS/N比やダイナミックレンジで以て蛍光を検出することができる固体撮像素子を提供する。また、そうした固体撮像素子を利用して生体組織のイメージングなどを良好に行うことができる撮像装置を提供する。
効果 遮光層を形成するマスクのパターンを変更する等、設計上で対応容易な方法で以て、つまりは従来の固体撮像素子の製造工程を殆ど変更することなく、受光感度について任意の入射角選択性を持たせることができる。これにより、例えば特定方向から到来する励起光を遮断しつつ、撮像対象物から放出された蛍光を選択的に検出するような撮像装置を実現することができる。そのため、インビトロ(つまりオンチップ型)とインビボ(つまり生体埋め込み型)とのいずれの形態でも、蛍光イメージング測定などの生体試料の測定・観察に非常に有用である。
技術概要
図1はイメージセンサ1の一個の画素の概略縦断面構造を示す図、図2はこのイメージセンサ1におけるフォトダイオード11の受光感度の入射角依存性を示す図、図3はこのイメージセンサ1における窓開口16の構成を説明するための上面平面図である。フォトダイオード11等を形成した半導体基体10表層の上に積層する多層の金属配線層131〜134に設ける開口部を該配線層の厚さや絶縁層間膜14の厚さを考慮したずらし量ずつ水平方向にずらすことにより、開口方向が垂直線から所定角度θ0だけ傾斜した窓開口16を各フォトダイオード11毎に設ける。垂直入射光L1は金属配線層13により遮断されてフォトダイオード11に到達せず、開口方向に沿って逆向きに入射してくる斜め入射光L2は窓開口16を通してフォトダイオード11に到達する。保護膜15上に試料を載置し該試料に励起光を垂直入射すると、試料を透過した励起光は遮断され、試料中で広い角度範囲に放出される蛍光の一部は窓開口16を経てフォトダイオード11に達して検出される。図4はこのイメージセンサ1を使用した撮像装置の全体構成図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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