プラズマ発生装置付き射出成形装置並びに射出成形及び表面処理方法

開放特許情報番号
L2008003626
開放特許情報登録日
2008/7/18
最新更新日
2020/10/21

基本情報

出願番号 特願2005-146682
出願日 2005/5/19
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 特開2006-321137
公開日 2006/11/30
登録番号 特許第4660702号
特許権者 国立大学法人東海国立大学機構
発明の名称 プラズマ発生装置付き射出成形装置並びに射出成形及び表面処理方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ発生装置付き射出成形装置
目的 高周波電力を用いない、プラズマ発生装置付き射出成形装置を提供する。
効果 マイクロ波を用いてプラズマを発生させるので、金型のいずれも接地することができる。また、マイクロ波による放電は1mm程度の間隙で容易にプラズマを発生させることが可能である。金属の上に誘電体がある時、マイクロ波は表面波として誘電体面に沿って伝搬していくので、大面積のプラスチック表面に沿ってマイクロ波プラズマを発生させることができる。これは板状のプラスチック成形品において特に効果が高く、大面積のプラスチック板の表面処理が容易となる。
技術概要
射出成形装置は、金型の一方に形成された、導波管に接続されたマイクロ波アンテナと、射出成形後に金型の一方と成形品との間に間隙を設けて2つの金型を固定する手段と、間隙から排気して所定の真空度を保持する排気手段と、金型と成形品との間に成形品の表面を処理するためのガスを導入する手段とを有し、間隙にガスのプラズマを発生可能とする。図1.Aのように射出成形を行い、成形品Pを冷却固化する。次に図1.Bのように、ジャッキ120を用いて1〜数mmだけ第2の金型200を移動させて空隙Sを形成する。この際、ガス導入口132と排気口142は、第2の金型200の移動により空隙Sに対して開き、ガス導入管131、空隙S、排気管141は連通する。これらは第2の金型200のOリング201により気密が保たれる。次に、気密となった空隙Sから、排気装置140を用いて排気を行い、ガス供給部130からプラズマ処理のためのガスを空隙Sに供給する。導波管150を介してマイクロ波アンテナ160にマイクロ波を供給すると、空隙Sにおいてマイクロ波による放電が生じ、ガスプラズマが発生する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 マイクロ波プラズマではイオンエネルギーが低いので、プラズマによる表面へのダメージは起こらない。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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