スパッタソース

開放特許情報番号
L2008003593
開放特許情報登録日
2008/7/18
最新更新日
2008/7/18

基本情報

出願番号 特願2006-032031
出願日 2006/2/9
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 特開2007-211287
公開日 2007/8/23
発明の名称 スパッタソース
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マグネトロンスパッタリング装置に用いられるスパッタソースに適用する。
目的 特定の構造を有するスパッタソースを提供する。
効果 ターゲットのベーキング作業や交換作業を容易に行うことが出来るようになる。
技術概要
ターゲット4と、ターゲット4を一方の面で支持するバッキングプレート6と、バッキングプレート6の他方の面側に配置される円柱磁石34と環状磁石36とからなる永久磁石と、バッキングプレート6の他方の面に当接し、永久磁石と別個独立して配置される環状水路18と、環状水路18に接続される複数の水冷パイプ20より成る循環水路とを備えるスパッタリング装置に用いられるスパッタソース2にする(図1)。好ましくは、環状水路18が永久磁石よりも内径側に配置される場合、永久磁石に水冷パイプ20を通すための切り欠き部45が永久磁石の等間隔の位置に設けられ、また、バッキングプレート6には永久磁石が嵌り込む凹部14が設けられる構造にする(図2、図3)。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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