物体位置合わせテーブル

開放特許情報番号
L2008003345
開放特許情報登録日
2008/6/20
最新更新日
2008/6/20

基本情報

出願番号 特願平10-022078
出願日 1998/2/3
出願人 株式会社ディスコ
公開番号 特開平11-220010
公開日 1999/8/10
登録番号 特許第4038264号
特許権者 株式会社ディスコ
発明の名称 物体位置合わせテーブル
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 物体位置合わせテーブル
目的 水の表面張力を利用して位置合わせする物体位置合わせテーブルにおいて、テーブルを交換せずに大きさの異なる物体の位置合わせができるようにする。
効果 水の表面張力を利用して位置合わせする物体位置合わせテーブルにおいて、複数の水層形成領域を同心円状に設けたので、異径の物体の位置合わせが可能となり、径の異なる位置合わせテーブルを複数用意する必要がなくなると共に、位置合わせテーブルを交換する必要もない等の優れた効果を奏する。
技術概要
物体の表面形状と同等形状の水の層を形成し、水の表面張力によって水の層上に浮遊する物体と水の層とを合致させて物体の位置合わせを遂行する物体位置合わせテーブルであって、このテーブルは、位置合わせを遂行せんとする第1の物体の表面形状と同等形状の水の層を形成する第1の水層形成領域と、この第1の水層形成領域の外側に第1の物体よりも大きい第2の物体の表面形状と同等形状の水の層を形成する第2の水層形成領域と、を少なくとも含み、第1の水層形成領域には給水孔が形成され、その外側に形成される水層形成領域には排水孔が開閉自在に形成される。図(イ)、(ロ)は物体位置合わせテーブルを示すもので、1はテーブル本体であり、その上面には水層を形成するための第1の水層形成領域2と、この第1の水層形成領域の外側にそれより大きい水層を形成するための第2の水層形成領域3とが同心円状に形成されている。この水層形成領域2、3は、テーブル本体1の上面を凹溝状に形成するか、又はリング状の隔壁2a、3aを設けることで形成できる。隔壁3aの上面は、隔壁2aの上面と同一高さにするか或は少し高めに設定する。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ディスコ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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