吸着固定装置

開放特許情報番号
L2008003335
開放特許情報登録日
2008/6/20
最新更新日
2008/6/20

基本情報

出願番号 特願平10-080757
出願日 1998/3/27
出願人 株式会社ディスコ
公開番号 特開平11-284056
公開日 1999/10/15
登録番号 特許第3993296号
特許権者 株式会社ディスコ
発明の名称 吸着固定装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 吸着固定装置
目的 サイズの大きい被固定物に研磨加工を施しても同心円状の模様が生じることはなく、しかも構造が簡単で吸引固定力が低下しない吸着固定装置を提供する。
効果 載置台上に載置される被固定物のサイズに対応した吸気室だけが吸引され、しかも、載置台には上下に連通する通気孔だけが形成されているので、載置台上に載置された被固定物のサイズに対応した領域以外から空気を吸引することはなく、吸引効率が良好となる。また、載置台は被固定物のサイズに対応した仕切り部を有せず全体が均一に構成されているので、被固定物を研磨加工した場合にも平面精度が極めて良好となる。
技術概要
図1には吸着固定装置の要部を分離した斜視図が示されており、図2には図1の吸着固定装置の断面図が示されている。吸着固定装置は、円板状の基台2と円板状の載置台4とを具備している。基台2は適宜の金属材によって構成され、その上面には上方が開放された円形状の凹部21が形成されている。基台2に設けられた凹部21の周壁22には、基台2の上面から所定量(例えば20mm)下方に達する環状の段部221が形成されている。また、基台2に設けられた凹部21の底壁23には、同心円状に形成された複数個の環状の隔壁231、232、233、234が凹部21内に突出して設けられている。図3に示す載置台4は、例えば直径が80μm程度のガラス線材41を線芯を揃えて束ね、これを1200〜1300°Cの温度で焼結して一体成形し、この焼結体を所定の厚さに切断してA部に拡大して示すように、各ガラス線材41によって囲まれる領域が線芯方向に連通する通気孔410として形成されたものである。図4は載置台の別の例を示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 載置台は細い線材を線芯を揃えて一体成形するため、通気孔が蜜に形成され、被固定物を均一に吸引固定することができる。また、載置台は一つの部材でよく、従って、構造が簡単で比較的安価に製作することができる吸着固定装置が得られる。

登録者情報

登録者名称 株式会社ディスコ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT