切削装置

開放特許情報番号
L2008003330
開放特許情報登録日
2008/6/20
最新更新日
2008/6/20

基本情報

出願番号 特願2001-363057
出願日 2001/11/28
出願人 株式会社ディスコ
公開番号 特開2003-163253
公開日 2003/6/6
登録番号 特許第3927018号
特許権者 株式会社ディスコ
発明の名称 切削装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 切削装置
目的 カセット載置機構に半導体ウエーハを収容したカセットを載置することにより、カセットに装着されるカセット蓋の着脱を行うことができる切削装置を提供する。
効果 この切削装置は、カセット載置手段のカセットテーブルが蓋着脱位置に位置付けられた状態で、カセットテーブル上に載置されたカセットにカセット蓋を着脱する蓋着脱機構を備えているので、オペレータがカセット蓋の着脱作業を行う必要がないとともに、取り外したカセット蓋の管理も不要となる。
技術概要
図1は切削装置の斜視図、図2は図1に示す切削装置に適用するカセットの斜視図、図3は図2に示すカセットを構成するカセット蓋の斜視図、図4は図3に示すカセット蓋の断面図、である。この切削装置は、カセット載置領域に配設され被加工物である半導体ウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置機構8を具備している。カセット7は、カセット本体71と、カセット本体71に着脱可能に装着されるカセット蓋72とからなっている。カセット本体71は、一側部に半導体ウエーハを出し入れするための搬出入開口711を備えており、内部には半導体ウエーハ10を載置するための複数個のラック棚712が上下方向に設けられている。また、カセット本体71の搬出入開口711部の両側壁には、後述するラッチが嵌入する嵌入穴713、713が設けられている。カセット蓋72は、図3に示すように上記カセット本体71の搬出入開口711に嵌合される嵌合部721と、嵌合部721の背面に形成されたフランジ部722とからなっている。カセット蓋72を構成する嵌合部721には、図4に示すように2個のラッチ73、73が装着されている。
イメージ図
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ディスコ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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