洗浄装置及び切削装置

開放特許情報番号
L2008003321
開放特許情報登録日
2008/6/20
最新更新日
2008/6/20

基本情報

出願番号 特願平11-110945
出願日 1999/4/19
出願人 株式会社ディスコ
公開番号 特開2000-306878
公開日 2000/11/2
登録番号 特許第3410385号
特許権者 株式会社ディスコ
発明の名称 洗浄装置及び切削装置
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造、洗浄・除去
適用製品 洗浄装置及び切削装置
目的 高圧水を用いることなく高圧水と同等の洗浄能力を有する洗浄装置及びその洗浄装置を組み込んだ切削装置を提供する。
効果 従来40kgf/cm↑2〜200kgf/cm↑2の高圧水を使用して洗浄する場合と殆ど変わらない洗浄効果が得られると共に、使用する洗浄水が高圧水と比べ4%程であり極めて経済的である。又、ノズル手段にエアー配管をするだけで良いと共に、使用する洗浄水の圧力は市水程度で充分足りることから、切削装置内部の配管を高圧対応にする必要がなく、高圧水を使用する従来装置に比べて安価に構成することができる。そして、高圧水生成装置が不要であるため設備費が掛からない。
技術概要
図1は洗浄装置を組み込んだ切削装置を示す斜視図、図2は切削手段の要部拡大斜視図、図3(a)は洗浄装置の構成を示す説明図、(b)はノズル手段の他の例を示す概略断面図、図4はコンタミ測定の選択位置を示す説明図、である。図1は、切削装置5(ダイシング装置)を示すもので、被加工物4(半導体ウェーハであって、粘着テープNを介してフレームFに固定されている)を複数枚収容したカセット6が上下動する載置領域5a上に載置され、把持機構を備えて前後動する搬出入手段7により被加工物4がカセット6内から待機領域5bに1枚ずつ搬出される。待機領域5bに搬出された被加工物4は、旋回アームを有する搬送手段8により吸着されてチャックテーブル9上に搬送され、このチャックテーブル9に吸引されると共に両側の固定手段9aによりフレームFが固定されることでチャックテーブル9上に保持される。そして、位置決め工程後に、チャックテーブル9を切削手段2に対して一定のストロークでX軸方向に往復動し、高速回転する切削ブレード1により被加工物4の切削工程がなされる。
イメージ図
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 既存のダイシング等を改造する場合においても、ノズル手段を装着し、エアー配管と水配管をするだけで良いことから、短時間で改造ができダイシング装置等の稼働の停止を最小限に抑えることができ、生産性を維持できると共に極めて安価に改造できるというメリットがある。
改善効果2 又、ダイシング装置等の切削装置や加工装置が設置されている施設においては、一般的にエアースピンドル、エアーアクチュエータ、切削水、洗浄水等として使用されるエアー供給手段及び純水供給手段が設置されているため、特別な設備を必要とせず極めて経済的である。

登録者情報

登録者名称 株式会社ディスコ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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