微粒子の捕獲方法、配置方法及びこれに使用するプローブ

開放特許情報番号
L2008002752
開放特許情報登録日
2008/6/6
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2008-040751
出願日 2008/2/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-196041
公開日 2009/9/3
登録番号 特許第5273518号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 微粒子の捕獲方法、配置方法及びこれに使用するプローブ
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 微粒子の捕獲方法、微粒子の配置方法、微粒子の捕獲・配置に使用するプローブ
目的 微粒子の透過電子顕微鏡観察や電気的・磁気的計測が実施されているが、結果は粉体そのものの物性か粉体間の界面による影響か明確に分離困難であり、計測を1個単位で実施する新しいナノ計測手法が必要である。なお微粒子を捕獲・配置する手法として光ピンセット技術が知られているが幾つかの制約条件がある。そこで、1個又は複数個の微粒子を選択し捕獲する技術、捕獲した微粒子をナノメートルの間隙を持つ金属電極間に配置し微粒子1個又は複数個の物性計測を実現するための配置技術、及び微粒子の捕獲、配置に使用するプローブを提供する。
効果 この方法によると、微粒子1個又は複数個を捕獲することができ、また捕獲した微粒子を微粒子1個又は複数個の計測用のデバイスに配置し、微粒子1個又は複数個の電気抵抗、磁気抵抗等微粒子そのものの物性を精密に計測できる。さらに、1個又は複数個の微粒子の捕獲・配置が実現することにより、目的とする異なる微粒子を含む複数個の微粒子の捕獲、配置も可能となる。
技術概要
この技術は、微粒子1個の物性計測を実現するための配置技術、及び微粒子の捕獲・配置に使用するプローブに関する。微粒子の捕獲方法及び配置方法は次の段階からなる:@金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する:Aカーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる:及びB微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる。プローブは微粒子を捕獲するため電界研磨により先端を先鋭化したタングステン探針の先にカーボンナノチューブを取り付けたもので、走査型電子顕微鏡中に搭載した2つの独立可動ステージから成るマニピュレーターの1つのステージの先に取り付け、一方のステージには、微粒子の固まり及び微粒子を配置したい試料を置く。この装置を用いて微粒子の捕獲・配置を行う。図は、ヘマタイト微粒子の固まりにカーボンナノチューブのついたタングステン探針を近づけて接触させている様子、カーボンナノチューブの先端にヘマタイト微粒子1個を捕獲した様子、微粒子1個を捕獲し基板に配置する図面、及び金属電極間に微粒子を1個配置した様子を示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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