| 出願番号 |
特願2008-040490 |
| 出願日 |
2008/2/21 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2009-195955 |
| 公開日 |
2009/9/3 |
| 登録番号 |
特許第5177643号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
高精度レーザ加工およびレーザ・電解複合加工装置 |
| 技術分野 |
機械・加工、電気・電子、その他 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
血管拡張用ステント、回路検査用コンタクトプローブ、注射針、医療用検査プローブ等の小径軸の加工対象物を高精度にレーザ加工し、電解仕上げ加工する高精度レーザ加工およびレーザ・電解複合加工装置。 |
| 目的 |
加工用レーザ光源を用いて微小ワークの形状、位置、姿勢、およびレーザとの相対位置を計測できるようにすることにより、画期的かつ独自性の高い高精度レーザ加工装置を提供すること。 |
| 効果 |
計測位置と加工位置のずれがない形状計測／加工が可能となり、保持誤差のあるワークに対してもレーザを正確な位置に照射することができる。また、計測用レーザ，専用光学系を必要としないため、システムの飛躍的な小型化が実現できる。 |
技術概要
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高精度レーザ加工装置は、レーザ加工装置およびワーク保持具を支持するスピンドル、レーザ加工装置とスピンドルとをＸＹＺ方向に相対移動させる移動ステージを備える。 レーザ加工装置は、レーザ発振器、加工用レーザ光と計測用レーザ光を出射するレーザ光出射手段のレーザヘッドと、ワークで反射された計測用レーザ光の反射光量を測定する反射光量測定手段と、計測用レーザ光の反射光を用いてワークを撮影可能な撮像素子と、レーザヘッドから出射された加工用レーザ光および計測用レーザ光の光路を形成する光学系と、加工用レーザ光と計測用レーザ光の光軸方向で、レーザヘッドに対して、ワークよりも離れた位置に配置され、計測用レーザ光を反射する反射板と、移動ステージ、レーザ発振器、反射光量測定手段および撮像素子を制御する制御手段とを備える。 計測用レーザ光を用いてワークの初期位置、および、ワーク保持手段によりワークを所定角度回転させたときの回転位置を計測して、制御手段によりワークの３次元位置を把握し、ワークの加工照射点を求めることによりワークの保持誤差を補正するワーク保持誤差補正手段を備える。 レーザー加工装置のステージに電解加工装置を載置する。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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