レーザーイオン化質量分析装置およびレーザーイオン化質量分析方法

開放特許情報番号
L2008002694
開放特許情報登録日
2008/6/6
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2008-009363
出願日 2008/1/18
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-170354
公開日 2009/7/30
登録番号 特許第4845051号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーザーイオン化質量分析装置およびレーザーイオン化質量分析方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 レーザーイオン化質量分析装置
目的 レーザー光を集光しないで平行光とすると共に、イオン化領域を大きくするために、1対の平面鏡の間でレーザー光を複数反射させるように光学系を構成することにより、検出感度を向上させたレーザーイオン化質量分析装置およびレーザーイオン化質量分析方法を提供する。
効果 1対の平面鏡によるレーザー光路の増幅により、イオン化空間領域を広げることができ、レーザーイオン化による飛行時間型のレーザーイオン化質量分析装置およびレーザーイオン化質量分析方法の検出感度を向上させることができる。また、レーザー光が1対の平面鏡間を反射する回数2nとした場合、イオン化領域の空間は、短光路の2n+1倍に増幅され、この領域で生成したイオンが全てイオン検出器によって検出されることにより、イオン信号強度を約2n+1倍に増幅することができる。
技術概要
図1はレーザーイオン化質量分析装置の概略構成を示す斜視図、図2は図1に示されたレーザーイオン化質量分析装置の平面鏡4、5間で反射するレーザー光路と同一面で切断して見たレーザーイオン化質量分析装置の断面図、図3は図2に示した反射鏡4、5、電極8、9、およびレーザー光6を拡大して示した図、である。図1に示すように、レーザーイオン化質量分析装置では、イオン化質量分析による検出を目的とした分子が微量に含まれる大気、あるいはその分子をヘリウム等のバッファーガスで希釈した試料ガスを、パルスバルブ等からなる分子線発生装置1により、真空チャンバー2内に噴出させることにより試料分子線3が得られる。分子線3中の試料は、レーザー光6によりイオン化され、イオン化されたイオン10は、飛行時間型質量分析計のイオン引き込み電場発生用の2枚の電極間8、9の電場によりイオン検出器12方向に加速され、それぞれの質量に特有の速度で飛行管11を飛行後、イオン検出器12に到達する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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