弾性表面波アクチュエータ、移動子、及びステータ

開放特許情報番号
L2008002190
開放特許情報登録日
2008/5/2
最新更新日
2012/3/16

基本情報

出願番号 特願2006-053937
出願日 2006/2/28
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2007-236094
公開日 2007/9/13
登録番号 特許第4923241号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 弾性表面波アクチュエータ、移動子、及びステータ
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体製造技術、産業用ロボット、超音波振動、カメラの自動焦点レンズ駆動用モータ、ブラインドやカーテンの駆動
目的 移動子とステータ間の摩擦係数が確保でき,長寿命で信頼性の高い弾性表面波アクチュエータ、この弾性表面波アクチュエータに用いる移動子、及びこの弾性表面波アクチュエータに用いるステータの提供。
効果 移動子セグメント(スライダセグメント)の上面の端部が、曲率半径R≧1μm程度の丸みを有する構造が簡単に実現できる。移動子セグメントアレイの適用により耐摩耗性が向上し、同時に、従来のシリコンスライダと同程度以上の性能を確保することができる。
技術概要
この技術は、ステータの表面からレイリー波の運動エネルギを得て、レイリー波の伝搬方向と逆方向に、ステータに対し相対的に移動する移動子であって、この移動子が移動子基板と、この移動子基板よりもヤング率の大きな材料からなる複数の移動子セグメントの配列からなり、この複数の移動子セグメントのそれぞれの上面が振動子に接する移動子セグメントアレイとを備える移動子であるとする。移動子(スライダ)を構成する移動子セグメント(スライダセグメント)の配列からなる移動子セグメントアレイは、スライダ基板の表面にマトリクス状に設けられている、スライダ基板よりもヤング率が大きく硬い材料の島状突起である。スライダ基板としてヤング率68GPaのアルミニウム(Al)若しくはヤング率58GPaのマグネシウム(Mg)を用いるのであれば、硬い材料としてはヤング率が100GPa以上、好ましくはヤング率が150GPaの材料が好ましい。この移動子セグメント(スライダセグメント)を構成する島状突起の材料は、耐摩耗性材料であることが好ましい。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT