MEMSの動作診断装置及び動作診断方法

開放特許情報番号
L2008002187
開放特許情報登録日
2008/5/2
最新更新日
2009/3/14

基本情報

出願番号 特願2005-261341
出願日 2005/9/8
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2007-071790
公開日 2007/3/22
発明の名称 MEMSの動作診断装置及び動作診断方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 観察対象の変形を解析する方法、位相シフト法、干渉光の強度、干渉画像
目的 Micro electro mechanical system(MEMS)部品は、シリコンウェハを素材としているため、その表面が鏡面に近く、レーザ光を照射した場合に、強い鏡面反射成分がデジタル撮像装置に直接入射し、解析可能な干渉スペックルパターンを得ることが容易にはできなかったことに鑑み、MEMSの動作を的確に解析することができる動作診断装置と、その動作診断方法との提供。
効果 MEMSの動作に伴う時空間的な変位を精密に計測することができる。また、スペックルパターンを観察する場合と違って、干渉像からMEMSの初期形状を知ることができる。従って、使用中のMEMSのメンテナンスや、MEMSの改良・開発に必要な情報を、得ることができる。
技術概要
この技術では、MEMSの動作診断装置は、入射する準単色光を反射光と透過光とに二分するビームスプリッターと、この反射光及び透過光の一方が照射されて測定光を反射するMEMSと、この反射光及び透過光の他方が照射されて参照光を反射する鏡面ミラーと、測定光及び参照光が合わさった干渉光から干渉像を形成する光学系と、MEMSの動きに伴う干渉像を時系列で撮像するデジタル撮像装置と、デジタル撮像装置で撮像された画像の各々から信号強度の値と信号強度のヒルベルト変換した値とを求め、それらの値から画像の各空間位置での測定光と参照光との位相差を算出し、時系列上に並ぶ画像の位相差からMEMSの変形の時系列過程を解析する解析手段とを備えている。この装置では、準単色化した光を干渉計の光源としているため、スペックルノイズの無いきれいな干渉縞が現われた干渉像を得ることができ、この干渉像にヒルベルト変換位相解析法を適用してMEMSの動作を解析する。
リサーチツールの分類 方法・プロセス
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT