熱励起を加えたフォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法およびその測定装置

開放特許情報番号
L2008002182
開放特許情報登録日
2008/5/2
最新更新日
2008/5/2

基本情報

出願番号 特願2003-286624
出願日 2003/8/5
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2005-055307
公開日 2005/3/3
登録番号 特許第3743802号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 熱励起を加えたフォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法およびその測定装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 素子効率、安定性、禁制帯内準位、欠陥、残留不純物
目的 発光・受光および電子材料・デバイスの素子効率や安定性、信頼性を改善するために、禁制帯内準位を高精度に検出、評価するための非破壊、非接触の測定手法が産業界から強く望まれていることに鑑み、捕獲準位を始めとする禁制帯内準位のエネルギーを簡便、かつ正確に測定することができる熱励起を加えたフォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法およびその測定装置の提供。
効果 非破壊、非接触の光学測定であり、電極が不要であるため試料形状によらない、各プロセスごとの測定評価が可能である。励起光スポットサイズを絞ることにより、局所的な評価が可能である。この極限として、近接場光学技術を用いて、単分子、単一量子ドット測定までが可能である。一方、スポットサイズを広げると、広範囲な領域の平均情報が容易に得られる。
技術概要
この技術は、発光・受光および電子材料に低温下で予め光子エネルギーE↓(exc)のAGE光またはBGE光を照射して、励起キャリアを禁制帯内の捕獲準位に捕獲させ、AGE光またはBGE光を遮断後、一定昇温率で温度を上昇させながら、捕獲準位から熱放出されたキャリアによる発光を温度の関数として観測するときに、ある中間温度で光子エネルギーE↓BのBGE光を照射して、照射しなければその後熱放射されたであろう捕獲エネルギーE↓T<E↓Bの捕獲準位のキャリアをBGEにより光励起して、一度に発光を生成させ、この後の昇温では、捕獲エネルギーE↓T<E↓Bの捕獲準位にキャリアは存在しないため発光は生じず、捕獲エネルギーE↓T>E↓Bの準位からのキャリアが熱放出される温度に達して初めて次の発光を生じさせ、光励起と熱励起の相反的関係から、特定の光子エネルギーE↓(exc)とE↓B、あるいは相異なる複数のE↓(exc)とE↓Bの組み合わせを利用して、禁制帯内準位のエネルギーを検出する。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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