マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法

開放特許情報番号
L2008002178
開放特許情報登録日
2008/5/2
最新更新日
2008/5/2

基本情報

出願番号 特願2003-007438
出願日 2003/1/15
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2004-220935
公開日 2004/8/5
登録番号 特許第3858093号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法
技術分野 電気・電子、機械・加工、金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 微細加工、微細凹凸センサ、高周波電力、空間分解能
目的 生成されたマイクロプラズマPの大きさが増大し、マイクロプラズマを利用した微細な加工及び測定を実現することが不可能となり、結果的に高空間分解能を実現することができなくなることに鑑み、微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現することの達成。
効果 開口部から複数の電極の長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを導入するようにしているため、隣接する複数の電極を近接させた場合においても、プラズマ再結合用ガスによって、隣接する電極の先端部で生成されるマイクロプラズマの結合を抑制し、各電極の先端部で生成されるマイクロプラズマの再結合を促進し、マイクロプラズマの大きさを微小な状態に保持することができる。
技術概要
この技術は、支持板に固定され、先端部においてマイクロプラズマを生成させるための複数の電極と、複数の電極に対してマイクロプラズマ生成させるべく高周波電力を導入するための、高周波電力導入部と、高周波電力を供給するための高周波電源とを具え、複数の電極はそれぞれ管状構造を呈し、その内部空間に前記マイクロプラズマを生成させるためのプラズマガスを導入するとともに、電極の先端部に設けられた開口部からプラズマガスを放出し、先端部においてマイクロプラズマを生成するように構成され、支持板には、複数の電極間において、複数の電極それぞれの長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを導入するための複数の開口部を設け、プラズマ再結合用ガスにより、複数の電極の、隣接する電極間で生成したマイクロプラズマの結合を抑制するようにしたマイクロプラズマ生成装置とする。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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