機械電気変換素子及びその製造方法

開放特許情報番号
L2008002175
開放特許情報登録日
2008/5/2
最新更新日
2011/10/7

基本情報

出願番号 特願2006-124251
出願日 2006/4/27
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2007-298297
公開日 2007/11/15
登録番号 特許第4810661号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 機械電気変換素子及びその製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 ポリカーボネート、高分子化合物、音信号、電気の変動、電界効果トランジスタ
目的 エレクトレットコンデンサマイクロフォン(ECM)の製造はクリーンルームのような清浄な環境で行われる必要があり、製造コストが割高になる難点を有していることに鑑み、製造コストが低く、耐熱性が高く、小型化が容易で、且つ動作の安定性の高い機械電気変換素子及びその製造方法の提供。
効果 誘電分極板表面がポーラスな状態であれば、特定段階で、冷却すると、誘電分極板の分極の増大により電極間中の荷電粒子は誘電分極板中に吸着される。これにより電極に影響を及ぼす誘電分極板の分極量は減少するが、誘電分極板の分極特性と厚さ、電極間距離を適切に設計すれば、それでもなお電極間に高い電界を保持することが可能である。このため、クリーンルーム設備等の清浄空気中以外の環境でも、製造可能であり、設備投資を考慮すれば、低コストでの製造も可能となる。
技術概要
この技術では、機械電気変換素子は、平坦な振動面を有する導電体からなる振動子(振動板)と、振動板の振動面に対向した平坦な第1主面及びこの第1主面に平行に対向する第2主面で定義され、分極方向を揃えた誘電分極板と、誘電分極板の第2主面に接合された背面電極と、振動板と背面電極間に、振動面の変位に伴い誘導される電荷を測定する誘導電荷測定手段とを備えるマイクロフォンカプセルである。無負荷時には、誘電分極板の第1主面は、振動板の振動面に平行に対向している。ここで、誘導電荷測定手段は、背面電極に接続された増幅器と、増幅器に接続された出力回路を備える。出力回路は、一方の端子を接地した直流電源と、この直流電源と増幅器との間に接続された出力抵抗と、出力抵抗と増幅器との接続ノードに一方の電極を接続し、他方の電極を出力端子とする結合容量を備える。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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