プラズマ発生装置

開放特許情報番号
L2008001247
開放特許情報登録日
2008/3/7
最新更新日
2012/7/27

基本情報

出願番号 特願2006-007653
出願日 2006/1/16
出願人 学校法人日本大学
公開番号 特開2007-188831
公開日 2007/7/26
登録番号 特許第5004473号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 プラズマ発生装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ発生装置
目的 絶縁物の劣化や二次的な放電を低減し、一点に収束した高温高密度状態のプラズマを効率よく形成することができるプラズマ発生装置を提供する。
効果 このプラズマ発生装置は、パルス状の所定のガスを第1の電極部の開口部から第2の電極部へ向けて、所定方向に誘導して均等に噴出させ、電極間に高電圧を印可させて放電させる。このことにより、このプラズマ発生装置は、絶縁物表面で放電が開始されないため、絶縁物の劣化及び二次放電を抑止し、効率よく高温高密度のプラズマを形成することができる。また、プラズマ発生装置は、ガスの供給量を節約することができる。
技術概要
図1はプラズマフォーカス装置の各構成を示した断面図である。プラズマフォーカス装置1は、図1の断面図に示すように、装置内部で所定の動作ガス2を放電させることによりプラズマを発生させる円筒形状のプラズマ発生装置である。また、プラズマフォーカス装置1は、図1に示すように、円筒体の内部電極部10と、内部電極部10を内設する円筒体の外部電極部11と、内部電極部10と外部電極部11との間を絶縁する絶縁部12とからなる。また、プラズマフォーカス装置1には、内部電極部10と外部電極部11とを内設する密閉されたプラズマ発生空間部13が形成される。さらに、プラズマフォーカス装置1は、内部電極部10と外部電極部11とに高電圧を印可させる電源部14と、動作ガス2が充填されているガス充填部からガス供給管へ動作ガス2を供給させるガス供給弁15と、ガス供給管から内部電極部10へ動作ガス2を噴出させるガス噴出弁16と、内部電極部10と外部電極部11との間を流れる電流を計測する電流計測コイル17と、プラズマ発生空間部13内のガスを排気するガス排気部18とから構成される円筒形状の装置である。図2〜図4はプラズマの発生過程を示す。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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