ナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物の作製方法とナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物

開放特許情報番号
L2008001021
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2008/2/22

基本情報

出願番号 特願2005-311479
出願日 2005/10/26
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2007-118112
公開日 2007/5/17
発明の名称 ナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物の作製方法とナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 ナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物
目的 ナノ樹木状構造物を発展させ、機能性材料としての応用に新たな展望を切り拓く新しいナノ構造物を創生する
効果 ナノ樹木状構造物の表面にナノ微粒子が付着した全く新しい形態のナノ構造物が提供される。また、ナノ微粒子が効率的に発生し、ナノ樹木状構造物の表面に高い密度で付着する。より機能的なナノメートルサイズの触媒として、また、センサーや量子素子などとしての適用が考えられ、また、化学、生物、製薬などの分野での利用も考えられる新しいナノ構造物が提供される。
技術概要
セラミックス、ガラス、樹脂またはこれらの複合物から形成された絶縁体基板を真空中かつ電磁場中に置き、図1aに示したように、真空を保ったまま、原料ガスを絶縁体基板の表面に導入する。そして、原料ガスを絶縁体基板の表面付近に導入しながら、収束電子ビームを絶縁体基板の表面に照射する。収束電子ビームが照射された絶縁体基板の表面にナノ樹木状構造物が形成する。ナノ樹木状構造物は、走査される収束電子イオンビームが照射された絶縁体基板の表面に形成する。したがって、ナノ樹木状構造物の形成はナノメートルの精度で可能である。ナノ樹木構造物の表面にナノ微粒子を付着させる際には、ナノ微粒子の原料となるターゲット材を用い、ターゲット材に対してイオンスパッタリング、真空蒸着などを行うことができる。ナノ微粒子は単一の元素よりなるものの他、複数の元素を含むものなどとすることができる。生成するナノ微粒子は、図1bに示したように、ナノ樹木状構造物の表面に分布して付着する。ナノ樹木状構造物とナノ微粒子との複合構造物(ナノ樹木/ナノ微粒子複合構造物)が得られる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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