透過電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2008001017
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2005-327684
出願日 2005/11/11
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2007-134229
公開日 2007/5/31
登録番号 特許第4788887号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 透過電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 透過電子顕微鏡
目的 強度輸送方程式に基づき、電子波の位相計測を高速かつ時系列的に連続に実行する、透過電子顕微鏡を提供する。
効果 光学位相差顕微鏡と同様に、生物試料のような吸収コントラストの小さい試料(位相物体)を無染色の状態で大きなコントラストの位相像としてその場観察することができる。また、材料開発で必要とされる電場・磁場強度のその場観察が容易に行える。また、位相差顕微鏡が実現できるだけでなく、求まった位相をもとに、画像処理により、対物レンズの球面収差を補正することも可能となる。さらに、電磁レンズの収差を計測できるので、収差補正レンズ系へフィードバックをかけることにより、ハードウェアによる球面収差補正が容易となる。
技術概要
透過電子顕微鏡51を図1に示す。この構成では、制御コンピュータ52が計測面選択機構53及び画像計測機構54、位相演算機構55とのタイミングを調整する。位相演算機構55で求まった位相分布はモニター56に表示される。なお、この構成は結像型光学系を形成可能な電子波以外の電磁波、音波、荷電粒子などについても同様に適用することができる。画像計測機構54では強度が線形に精度よく計測でき、その場で電子波強度の記録、読み出しが可能な計測用CCDを用いている。毎秒5フレーム以上であればその場観察が可能である。また、計測面選択機構53では、画像計測機構54、あるいは試料58の位置を電子波の伝播方向に機械的に平行に移動させることなく、結像レンズ57の励磁電流を変化させることにより、結像面を電子波の伝播方向に平行に高速に前後させ、結果として固定した記録面において、図1のAに示すように、試料からの光学的伝播距離の異なる3つの計測面での強度を測定している。位相演算機構55の基本的構成を図2に示す。また、位相演算部64を示すフローチャートを図3に示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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