NaCl型炭化ケイ素の製造方法

開放特許情報番号
L2008001012
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2005-337667
出願日 2005/11/22
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2007-137751
公開日 2007/6/7
登録番号 特許第5110496号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 NaCl型炭化ケイ素の製造方法
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 NaCl型炭化ケイ素の製造方法
目的 より高性能であると見込まれるNaCl型炭化ケイ素を容易に製造することのできるNaCl型炭化ケイ素の製造方法を提供する。
効果 高温、高圧を用いず、クロロシランの熱分解という簡便な手法で高密度のNaCl型炭素ケイ素を製造することができる。低コストのクロロシランを原料に用い、簡便な電気炉を使用することができるため、NaCl型炭化ケイ素を安価に製造することができる。
技術概要
図1に示すように、孔径が0μmより大きく1μm以下で柱状の細孔1が形成された中空体2の細孔1内にクロロシラン3を流通させる。クロロシラン3の流通は、1Torr〜100Torrの減圧下で行い、キャリヤーとして水素ガス、アルゴンガス等を使用することができる。クロロシラン3は、中空体2の下方から上方へと導くことができる。クロロシラン3としては、例えば、メチルクロロシラン、エチルクロロシラン等で、クロロシラン3は炭化水素を含有するものであってもよい。中空体2は、たとえば、薄膜を所定間隔で離間配置し、柱状の細孔1が形成されたものとすることができる。このような中空体2は電気炉内に配置することができ、クロロシラン3を流通させながら温度900℃〜1300℃の温度に加熱する。クロロシラン3は中空体2の細孔1内で熱分解し、炭化ケイ素が生成し、図2に示すように、中空体2の内壁にNaCl型の炭化ケイ素4が析出する。熱分解に必要な温度は900℃〜1300℃の範囲が適当であり、この範囲からはずれるとクロロシラン3の分解効率が低下する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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