帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2008001000
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2005-360977
出願日 2005/12/14
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2007-165155
公開日 2007/6/28
登録番号 特許第4831604号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡
目的 放射電子顕微鏡技術の分野において、試料台に設置した絶縁物試料を観察した際に生じる試料表面の帯電を抑制し、エネルギーフィルターを用いること無く鮮明な電子像を得るための手法と、それを応用した放射電子顕微鏡を提供する。
効果 従来の放射電子顕微鏡では絶縁物の観察にエネルギーフィルターが必要であり非常に複雑な装置が必要であったが、この斜め照射方式により、そのエネルギーフィルターを必要としない簡便な装置で観察を可能にする。
技術概要
図1は放射電子顕微鏡の概略模式図である。図2は試料から放出された結像光電子の電子軌道と中和電子の電子軌道の関係を示す模式図である。この放射電子顕微鏡では、図2(b)に示すように、電子銃31のビーム偏向器35を用いてビームを大きく外に振ってビームセパレータ61を用いてそのビームを振り戻すように電子光学条件を調整することによって中和電子ビームを試料11の表面に対して鉛直方向から少しずらして斜めに(電子光学系の設計に依るが、直径400μmの角度制限絞りを使用した場合でおよそ27°)照射することで、帯電抑制機能を果たした後の中和電子は照射方向に対して鏡面反射方向に反射又は弾性散乱する。鏡面反射方向に反射又は弾性散乱した帯電抑制機能を果たした後の中和電子は、結像光軸(試料の表面に対して鉛直方向)に対して角度を持っているため、図2(b)に示すように角度制限絞り(コントラスト絞り:CA)を用いて取り除くことが可能であり、エネルギーフィルターなしにX線によって放出された光電子像を容易に観測することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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