炭化珪素ナノワイヤーの製造方法

開放特許情報番号
L2008000982
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2006-047781
出願日 2006/2/24
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2007-223853
公開日 2007/9/6
登録番号 特許第5170609号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 炭化珪素ナノワイヤーの製造方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 炭化珪素ナノワイヤー、竹状形態炭化珪素ナノワイヤー
目的 高温における半導体特性や電界電子放出特性の優れた竹状形態を有する炭化珪素ナノワイヤーの製造方法を提供する。
効果 幹並びにそれよりも太い節を有する竹状形態の立方晶系の結晶構造を有する炭化珪素ナノワイヤーの製造が出来る。
技術概要
図1に示す竹状形態の立方晶系の結晶構造を有する炭化珪素ナノワイヤーは、一酸化ケイ素粉末、グラファイト粉末及び窒化ガリウム粉末の混合物を不活性ガス気流中で、所定温度で所定時間加熱し、炭化珪素ナノワイヤーを合成される。一酸化ケイ素粉末とグラファイト粉末とのモル比は、好ましくは、1:0.5〜1:0.6の範囲である。この場合、一酸化ケイ素粉末1モルに対し、窒化ガリウム粉末が0.02〜0.07モルの範囲であればさらに好ましい。加熱温度は、1300〜1400℃の範囲であり、このときの加熱時間は、40分〜2時間の範囲である。不活性ガスはアルゴンガスで150〜400sccm用いる。この条件で直径が80〜300nm、長さが数百μm暗緑色の炭化珪素ナノワイヤーを製造できる。最初に、一酸化ケイ素粉末、グラファイト粉末および窒化ガリウム粉末の混合物をグラファイト製の容器に入れ、この容器を縦型高周波誘導加熱炉の中央部に設置する。次に、加熱炉内を減圧にした後、不活性ガスを流し、この不活性ガス気流中において、容器の内容物を加熱することで、炭化珪素ナノワイヤーを合成することができる。図2はナノワイヤーの断面の電子顕微鏡像である
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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