濃度測定方法および装置

開放特許情報番号
L2008000911
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2007-292213
出願日 2007/11/9
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-115760
公開日 2009/5/28
登録番号 特許第4953087号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 濃度測定方法および装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 気体濃度の測定装置
目的 水晶振動子を用いて既知の三成分以上の気体の混合ガス中のそれぞれの濃度を求める方法と装置を提供する。
効果 水晶振動子センサーと絶対圧力計のような物理センサーのみの測定で、混合気体中の各構成気体の濃度を簡便に測定でき、測定時に測定される気体を消費することなく、高速な測定が可能であり、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、圧力が変化しても常に正確な組成の測定が可能である。また水晶振動子を含む圧電素子を用いる場合には反応性の高い混合気体でも安全に測定できる。測定には特定波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、気体組成の変化に対応して即時、組成の測定が可能である。
技術概要
各気体の濃度に依存して変化する物性値に依存する物性依存出力を、気体種に対する依存性の異なる単数または複数の種類のセンサーを用いて測定する。さらにあらかじめ既知濃度の各気体からなる混合気体での測定から得られる各構成気体濃度と物性依存出力の複数の関係を、濃度算出のための検量線として利用して各気体の濃度範囲の絞り込みを行い、混合気体を構成する各気体の濃度を求める。 たとえば使用測定子としては、液柱差真空計、圧縮真空計等を利用する。圧力が変化すると共に物理量が変化する圧力計には、粘性(摩擦)を利用する水晶振動子センサーを備えた摩擦真空計やスピニングロータゲージ等が利用できる。 これによって混合気体中の各構成気体の濃度を簡便に測定でき、測定時に測定される気体を消費することなく、高速な測定が可能であり、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、圧力が変化しても常に正確な組成の測定が可能である等の効果が得られる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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