熱電素子を利用した不凝縮ガスセンサー

開放特許情報番号
L2008000867
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2007-267998
出願日 2007/10/15
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-097919
公開日 2009/5/7
登録番号 特許第4984252号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 熱電素子を利用した不凝縮ガスセンサー
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 蒸気に接触する熱電素子、蒸気の蒸発及び凝縮、蒸気との接触表面の温度変化
目的 凝縮への影響を直接的に計測すると共にリアルタイムで正確な相変化状態を知ることができる小型化された不凝縮ガスセンサーの提供。
効果 従来、微量な不凝縮ガスの測定は多くの時間と大がかりな装置を必要としたが、熱電素子の冷却、加熱特性を用いることで、相変化状態を直接的かつ即時的に得ることができ、同時に小型化、低価格化を図ることが可能となる。
技術概要
この技術は、所定の容器内の蒸気中に存在する微量な不凝縮ガスの濃度を計測する不凝縮ガスセンサーであって、蒸気に接触する熱電素子を設け、この熱電素子に、一定の周期で連続的に変化する電流を印加して蒸気の加熱及び冷却を繰り返し、蒸気の蒸発及び凝縮を行わせるとともに、この熱電素子における蒸気との接触表面の温度変化を測定し、印加した電流の周期的な変化の位相と、熱電素子表面温度の周期的な変化の位相との差により、蒸気中の不凝縮ガスの濃度を計測する。即ち、予め、試料ガス容器内の不凝縮ガス濃度をいくつか変えて、それらのそれぞれについて、熱電素子に加えられる電流の変化と温度測定素子の温度変化の位相差を検出し、関係曲線を作成しておけば、その関係曲線を利用することにより、蒸気内部に存在する不凝縮ガスの濃度を容易かつ正確に計測できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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