酸化膜を用いた光導波モードセンサー及びその製造方法

開放特許情報番号
L2008000851
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2007-254417
出願日 2007/9/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-085714
公開日 2009/4/23
登録番号 特許第5424229号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 酸化膜を用いた光導波モードセンサー及びその製造方法
技術分野 化学・薬品、食品・バイオ
機能 検査・検出
適用製品 バイオセンサー、化学物質センサー等として有用な光導波モードセンサー用検出板に適用する。
目的 特定の反射膜の上に光導波路層を形成して構成される光導波モードセンサー用検出板を提供する。
効果 この検出板を用いることにより、従来の光導波モードを利用する技術よりも、安定、かつ高い感度で被検出試料を検出できる光導波モードセンサーが可能になる。
技術概要
透明基板と、その上に形成した反射膜と、更に反射膜上に形成した光導波路層と、からなり、光導波路層が、反射膜の表面を酸化することによって形成された光導波モードセンサー用検出板にする(図)。反射膜は、Si、Ge等の半導体材料またはAl、Ti等の金属材料で構成され、また、透明基板としては、シリカガラスが好ましく用いられる。この検出板は、透明基板上に反射膜となる層を形成した後、この反射膜となる層の表面を酸化し、次いで、光導波路層を形成することにより製造される。尚、この検出板を用い、検出板の透明基板側から、反射膜に光を入射する光入射機構と、反射膜によって反射される光の反射光を検出する光検出機構とを備え、光導波路層の表面近傍における環境の変化によって生じる反射光の強度変化を読み取ることによって、環境の変化を観測又は検出する光導波モードセンサーが可能になる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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