イオンビームの評価測定方法及びイオンビームの評価測定装置

開放特許情報番号
L2008000753
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2007-215390
出願日 2007/8/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-047618
公開日 2009/3/5
登録番号 特許第4963091号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 イオンビームの評価方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 イオンビームの評価測定装置
目的 市販の導電性ワイヤ素材を殆ど未加工のままイオンビームの検出部に用い、誰でもが容易に正確に実施可能なイオンビームの評価測定方法及びイオンビームの評価測定装置を実現する。
効果 このイオンビームの評価測定方法及びイオンビームの評価測定装置は、ワイヤーロッドをイオンビームの検出に用いることで、簡単な構成によって、容易かつ正確にイオンビームを評価することができる。特に、イオンビーム検出部に使用するワイヤーロッドは、導電体であれば材質等を選ばないので、市販のワイヤーロッドを利用することも可能である。
技術概要
図1は、イオンビームの評価測定方法及びイオンビーム評価測定装置のイオンビーム1を説明する図である。このイオンビーム評価測定装置評価装置は、操作ロッド1と、操作ロッド1の先端に碍子等の電気的絶縁体2を介して絶縁して、ネジ3によって固定されたワイヤーロッド4と、ワイヤーロッド4を流れるビーム電流を測定する電流計5とを備える。電流計5は、図1に示すように、一端が、ワイヤーロッド4の基端部6に結線され、他端がアースされた電線7に取り付けられる。ワイヤーロッド4は、導電性の材料例えば金属材料で形成され、操作ロッド1の長手方向に延びる第1ロッド8と、第1ロッドに直交する第2ロッド9とからL型に形成される。操作ロッド1の先端にワイヤーロッド4の基端部6をネジによって電気的絶縁体2を介して固定し、操作ロッド1を移動させることによりワイヤーロッド4は、XY平面内で移動可能とする。図2、図3は、イオンビームの評価測定方法及びオンビーム評価測定装置の他の例を説明する図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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