走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2008000743
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2007-212132
出願日 2007/8/16
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-047482
公開日 2009/3/5
登録番号 特許第4858987号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体中に存在するバンド内準位の空間分布を測定することができる走査型プローブ顕微鏡に適用する。
目的 プローブと測定試料間の情報を特定の手段を用いて検出する走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 被測定試料を極めて小さい面積ごとに測定することができると共に、各々の波長に応じたエネルギー準位を持つ結晶欠陥やプロセス起因欠陥が放出するキャリアを測定するので、各欠陥に対応した正確な測定が行える走査型プローブ顕微鏡が可能になる。
技術概要
導電性プローブ3と、被測定試料2に対し所定間隔をとるように導電性プローブ3の位置を制御する手段(振動検出装置14、走査制御装置15)と、導電性プローブ3と被測定試料2との間に電圧を印加する手段(直流電圧源6)と、導電性プローブ3と被測定試料2との間に励起光10を照射する手段(光源9、集光器11、集光レンズ12)と、導電性プローブ3と被測定試料2の間の静電容量情報を検出する手段(容量検出器17)と、表示装置18、21等とから構成され、導電性プローブ3と被測定試料2の間の静電容量情報の、励起光10の強度に依存した成分を取得する光励起容量検出手段(容量検出器17が兼ねる)を有する走査型プローブ顕微鏡にする(図)。その際に、導電性プローブ3と被測定試料1の間の静電容量情報の、差分信号であるΔC/ΔZ信号及び、更にΔC/ΔZ信号から、励起光10の強度に依存した成分を抽出する光励起容量差分検出手段(ロックインアンプLA119、ロックインアンプLA220)を有する構成にする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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