走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた膜厚分布測定方法

開放特許情報番号
L2008000724
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2009/4/17

基本情報

出願番号 特願2007-198811
出願日 2007/7/31
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-036534
公開日 2009/2/19
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた膜厚分布測定方法
技術分野 金属材料、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 簡便な操作で実施でき、半導体産業、ゲート絶縁膜、DRAMの容量層間膜等の分野で広く利用される。
目的 誘電体薄膜の膜厚もしくはその分布に関わる情報を定量的に取得可能な、10nmを中心としてその近傍までの空間分解能を持つ走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた(極薄誘電体)膜厚分布測定方法を提供する。
効果 従来薄膜の膜厚測定に広く使用されて来たエリプソメーターの空間分解能(100μmを中心としてその近傍まで)に比べて4桁の空間分解能向上の達成となる。
技術概要
先端部に先鋭部を有する金属バネ10と、金属バネに電気的に接続された容量検出器7と、金属バネに振動を与える圧電素子11と、圧電素子を駆動する交流電源12と、被測定資料を載置し接地電位にされる可動の導電性基板3とからなり、金属バネの先端が被測定資料を載置する導電性基板に対向配置されている、走査型プローブ顕微鏡1である。尚、(1)被測定資料の所定開始位置に金属バネの先端部の先端が対向するように、走査制御装置を制御して走査用ステージ5を移動し、(2)圧電素子に交流電源から駆動電源を供給開始し、金属バネを介して誘電体薄膜のΔC/ΔZ信号を容量検出器で計測しコンピュータ9で信号処理しながら、走査制御装置の制御により予め設定した走査ルートで走査用ステージを走査し、(3)走査制御装置が予め設定した走査ルートを完走したことを検出したら制御動作を終了することにより、膜厚分布を測定する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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