走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2008000709
開放特許情報登録日
2008/2/22
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2007-185944
出願日 2007/7/17
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-025037
公開日 2009/2/5
登録番号 特許第4899162号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 簡便な操作で得られ、半導体産業分野等で広く利用される。
目的 接触抵抗をバルク金属と同程度の低インピーダンスにすると共に、光学的手段以外の手段により、対象測定物である試料表面をトレースするプローブの位置を計測する走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 従来の金属膜を被覆した構造の導電性プローブと比べ、金属膜の剥離等が発生しないこととなり、長期に渡り測定感度が向上できる。
技術概要
少なくとも、一端を先鋭化した金属バネ1と、圧電素子9と、これらを支持する複数のホルダーから構成されるプローブであって、金属バネはその一部が圧電素子に接触し、金属バネの先端1aが、被測定試料8表面に対して垂直方向を主成分とした向きに移動自在に配置されるように、金属バネの基部は第1ホルダー6に固着され、圧電素子は別の独立した第2ホルダー3に保持され、第2ホルダーは、圧電素子と金属バネの接触状態を変化せしめるように、その位置が調節可能となっている、走査型プローブ顕微鏡用のプローブである。尚、金属バネは、圧電素子との接触部位と金属バネの先端の間において、その先端が被測定試料表面に対して垂直となる曲げ部を有している。更に、金属バネ先端と被測定試料との間の電気的情報を検出するに際して、金属バネ先端が被測定試料に再近接した時にのみ電気的情報を取り込む、プローブを用いた走査型プローブ顕微鏡を製作する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT