3次元金属微細構造体の製造方法

開放特許情報番号
L2007006972
開放特許情報登録日
2007/11/9
最新更新日
2015/6/23

基本情報

出願番号 特願2005-257503
出願日 2005/9/6
出願人 独立行政法人理化学研究所
公開番号 特開2007-069406
公開日 2007/3/22
登録番号 特許第4838556号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 3次元金属微細構造体の製造方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 3次元金属微細構造体の製造方法、金属立体構造体
目的 生産効率ならびに加工自由度を向上させた3次元金属微細構造体の製造方法の提供。
効果 真空中での処理を行うことなしに3次元金属微細構造を作製することができる。また、3次元金属微細構造を作製する際の生産効率ならびに加工自由度を著しく向上することができる。
技術概要
この技術では、任意の立体形状を備えた3次元金属微細構造体の製造方法において、光硬化性樹脂に対して短パルスレーザー光を照射して2光子吸収微細造形法により3次元微細構造を備えたポリマー構造体を形成する第1の工程を有すると共に、第1の工程により形成したポリマー構造体に無電解めっきにより金属膜を形成する第2の工程を有するようにする。第1の工程は、表面に疎水性コーティングを施したガラス基板上にポリマー構造体を形成するようにする。ガラス基板は、疎水性コーティングとしてシラン化合物をコーティングしたものとし、シラン化合物は、ジクロロジメチルシランであるようにする。また、第2の工程における無電解めっきの還元剤を安息香酸とし、その第2の工程は、安息香酸の飽和水溶液を50〜100倍に薄めた第1の還元液と反応させる第1の処理と、第1の処理の後に安息香酸の飽和水溶液を5〜10倍に薄めた第2の還元液と反応させる第2の処理とを有するようにする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 実施許諾の可否・条件に関する最新の情報は、(独)理化学研究所連携推進部 知財創出・活用課までお問合せ下さい。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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