生成装置および方法、測定装置および方法、並びにプログラム

開放特許情報番号
L2007006398
開放特許情報登録日
2007/10/19
最新更新日
2011/4/15

基本情報

出願番号 特願2005-094689
出願日 2005/3/29
出願人 国立大学法人電気通信大学
公開番号 特開2006-275740
公開日 2006/10/12
登録番号 特許第4701388号
特許権者 国立大学法人電気通信大学
発明の名称 生成装置および方法、測定装置および方法、並びにプログラム
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 ゾーンプレート生成装置、測定装置
目的 少ない数のゾーンプレートで高さを測定するようにして測定処理を迅速に行うことができるようにする。
効果 高さを測定することができる。特に、ゾーンプレートを利用して高さの測定処理を、迅速に行うことができる。
技術概要
ゾーンプレートに基づき形成されたゾーンプレート状の光強度分布により光源の強度を入射角に応じた値に調整して、被測定物体の高さを測定する測定装置に用いるゾーンプレートを生成する生成装置である。測定装置により検出される検出強度をフーリエ変換した場合に得られる−1次または+1次フーリエスペクトルの幅を決定する幅決定手段と、ゾーンプレートの周波数の走査ステップを、被測定物体の高さの検出単位、被測定物体を測定するとき用いる光源の光の波長、及び被測定物体を観測する観測系のレンズの焦点距離に基づいて決定する走査ステップ決定手段と、検出強度のキャリアの周波数を決定する周波数決定手段と、ゾーンプレートを決定するパラメータのうちの初期位相を、ゾーンプレートの周波数を決定すると一義的に決定されるように設定して、ゾーンプレート生成手段とを備える。ステップS14で、初期位相βと周波数γをリニアな関係に設定する式β=2πfcγで、周波数γと、ステップS13で決定したキャリア縞の周波数fcから位相βを算出する。周波数γと算出した位相βを有するゾーンプレート15aが生成される。図はゾーンプレート生成処理を説明するフローチャートである。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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