測定装置および方法、並びにプログラム

開放特許情報番号
L2007006397
開放特許情報登録日
2007/10/19
最新更新日
2011/4/15

基本情報

出願番号 特願2005-094688
出願日 2005/3/29
出願人 国立大学法人電気通信大学
公開番号 特開2006-275739
公開日 2006/10/12
登録番号 特許第4701387号
特許権者 国立大学法人電気通信大学
発明の名称 測定装置および方法、並びにプログラム
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 測定装置
目的 被測定物体の形状を迅速に測定するようにする。
効果 高さを測定することができる。特に、ゾーンプレートを利用して高さの測定処理を、迅速に行うことができる。
技術概要
ゾーンプレートに基づき形成されたゾーンプレート状の光強度分布により光源の強度を入射角に応じた値に調整して、被測定物体の高さを測定する測定装置である。観測系の合焦位置を測定範囲の第1の基準位置に設定した後、測定範囲の第2の基準位置に達するまで、観測系のレンズの被写界深度に対応する分ずつ順次移動する設定手段と、合焦位置のそれぞれにおいて、所定の周波数のゾーンプレートを順次選択する選択手段と、選択されたゾーンプレートを用いて強度を入射角に応じた値に調整した光を被測定物体に照射して検出強度を測定する測定手段と、測定された検出強度に基づいて、ゾーンプレートの周波数に対応する被測定物体の高さを演算する演算手段とを備える測定装置である。ゾーンプレート15aにより、レーザ11の強度が、被測定物体25への入射角に応じて調整され、被測定物体25の高さが測定される。図1は、測定装置10の構成例を示すブロック図、図2は、ゾーンプレート生成部61の構成例を示すブロック図、図3は、ゾーンプレート生成部61の構成例を示すブロック図である。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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