熱式空気流量センサ

開放特許情報番号
L2007005650
開放特許情報登録日
2007/9/21
最新更新日
2010/6/4

基本情報

出願番号 特願平10-040226
出願日 1998/2/23
出願人 株式会社日立製作所
公開番号 特開平11-237266
公開日 1999/8/31
登録番号 特許第3355127号
特許権者 日立オートモティブシステムズ株式会社
発明の名称 熱式空気流量センサ
技術分野 機械・加工
機能 検査・検出
適用製品 熱式空気流量センサ
目的 本発明の目的は、発熱抵抗体として多結晶シリコンを用いるとともに、検出感度の向上した熱式空気流量センサを提供することにある。
効果 以上説明したように、本発明によれば、発熱抵抗体として多結晶シリコンを用いることができるとともに、検出感度が向上するものである。
技術概要
 
シリコン基板110上に、上流側発熱抵抗体120Aと、下流側発熱抵抗体120Bと、測温抵抗体120Cと、空気温度測温抵抗体120Dとが形成される。これらの抵抗体120は、多結晶シリコンとシリサイド化合物を混合した半導体薄膜によって形成されるとともに、この半導体薄膜には不純物がドーピングすることにより、比抵抗を小さくし、かつ、抵抗温度係数を大きくできる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 特許通常実施権の許諾(非独占)

登録者情報

登録者名称 株式会社日立製作所

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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