マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ

開放特許情報番号
L2007003822
開放特許情報登録日
2007/8/10
最新更新日
2009/2/6

基本情報

出願番号 特願2007-146279
出願日 2007/5/31
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-298649
公開日 2008/12/11
発明の名称 マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ
技術分野 金属材料、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ
目的 マグネシウム・チタン合金薄膜からなる水素センサ材料、この材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
効果 この水素センサ材料は、常温で動作し、加熱を必要としない。価格的に安いマグネシウム・チタンとごく微量のパラジウム等を用いるため、安価に製造できる利点を有する。水素のもれを光学的な変化で検知することができる。水素に対する感度及び応答性をマグネシウム・チタン合金薄膜の厚さ及び触媒層の厚さで制御することができる。
技術概要
マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ材料は、その薄膜の組成が、MgTi↓x(0.1<x<0.5)であり、薄膜の上に、触媒層が形成されている、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する。薄膜の表面に、触媒層として1nm−100nmのパラジウムもしくは白金がコートされている。保護層は、水素透過性であり、かつ水非透過性である。20℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有するので水素センサ材料、水素センサ及び水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法である。Mg・Ti薄膜の成膜は、3つのスパッタ銃に、ターゲットとして、夫々、金属Mg、金属Ti、金属Pdをセットした。基板は、図に示すように、あらかじめ電極としてAg又はAlを蒸着した厚さ1mmのガラス基板を用い、電極間をブリッジするように調光薄膜を蒸着した。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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