脆性材料膜構造体

開放特許情報番号
L2007003805
開放特許情報登録日
2007/8/10
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2007-136046
出願日 2007/5/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-291291
公開日 2008/12/4
登録番号 特許第5392737号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 脆性材料膜構造体
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 脆性材料膜構造体
目的 原料として安価な微粒子材料を用い、光導波路素子や薄膜キャパシター素子に適用可能な緻密で高透明、低リーク電流のサブミクロンオーダー、ナノメーターオーダー膜厚の脆性材料膜構造体を提供する。
効果 工業的に安価なサブミクロンから数ミクロンオーダーの原料超微粒子を用いて、サブミクロン以下の厚みの緻密な薄膜を高速に形成することができるようになる。
技術概要
脆性材料膜構造体は、脆性材料粒子を粒子径100nm以下に粉砕後、基板に吹き付け、これを基板上に堆積することにより形成された、アモルファス相の含有体積分率30%以下で、平均結晶粒径が50nm以下の多結晶構造である。脆性材料粒子を粒子径100nm以下に粉砕後、基板に吹き付け、これを基板上に堆積することにより形成され、堆積膜−基板界面に形成されるアンカー層厚さが100nm以下で、平均結晶粒径が50nm以下の多結晶構造である。相対密度90%以上である。誘電体層として厚さ1μm以下の脆性材料膜構造体を有する誘電体キャパシター、光学素子である。この脆性材料膜構造体を熱処理した強誘電体または圧電素子である。図に示す超微粒子薄膜形成装置1は成膜チャンバー2を有する。成膜チャンバー2にはノズル3が取り付けられ、また真空配管4及び真空ポンプ5が接続している。ノズル3は成膜チャンバー2の外に設置されるエアロゾル発生装置6に接続している。真空配管4及び真空ポンプ5は成膜チャンバー2内を減圧する。成膜チャンバー2内にはフレーム7に反射体8及び基板11が取り付けられている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 超微粒子を吹き付ける簡便な方法で、アルミナやチタン酸バリウム(BTO)(誘電体、強誘電体材料)、インジウムスズ酸化物(ITO)(透明電極材料)、TiO↓2(光触媒)、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)(光歪材料)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)(圧電材料)などの様々な機能性脆性材料の透明性を有する薄膜を、基板表面の結晶構造に関係なく、金属、ガラス、セラミックス、半導体、プラスティックなど様々な材質の基板上に形成できるようになる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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