反応性プラズマ中におけるダスト定量検出

開放特許情報番号
L2007003701
開放特許情報登録日
2007/8/3
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2007-105293
出願日 2007/4/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-261758
公開日 2008/10/30
登録番号 特許第4982891号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 反応性プラズマ中におけるラジカル及びダスト濃度測定方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 キャビティリングダウン分光法、半導体、反応容器・薄膜堆積装置、プラズマ診断装置、散乱体検出装置、散乱体定量評価装置
目的 ダストは、レーザー散乱法(LLS)を用い検出されており、ラジカルとダストの同時定量検出を行う手法は、開発されていないことに鑑み、ラジカルとダストを同時に検出し、サイズが小さく(8 nm以下)、かつ、低濃度なダストを高感度に検出することの実現。
効果 キャビティリングダウン分光法を応用し、レーザー光の全損失成分(ラジカル吸収、ダストによる吸収、ダストによる散乱)を検出するため、ミー(Mie)散乱以外では角度依存性を考慮することなく検出可能である。またダストによる吸収成分を観測することができるため、LLS法より高感度検出が期待できる。さらに、レーザー光の波長を選択することで、ダストおよびラジカルを同時検出できる。
技術概要
この技術は、8nm以下の微小なナノダストでは、吸収断面積が散乱断面積より大きくなることが予想される点に着目し、キャビティリングダウン分光法を用いたダスト検出技術を提案するものであり、この分光法では、キャビティ内の全光損失成分(ラジカル吸収、分子吸収、ダスト吸収、ダスト散乱)を検出することができ、ダストサイズが小さくかつ低濃度な条件下においてもダストの高感度検出が期待できる。キャビティリングダウン分光法では、二枚の高反射率のミラーを用いキャビティを形成し、そのキャビティに擬似的に光を閉じ込めることで、吸収体・散乱体の存在する光路長を伸ばし、高感度検出を可能とする。キャビティ長の決定を緩和するため、ナノ秒パルス光が用いられる。そのため、CRDS信号は、キャビティミラーから抜けてくる光の強度を時間に対しプロットし、減衰の時定数(リングダウンタイム)を求めることで得られる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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