微量液滴塗布システム

開放特許情報番号
L2007003674
開放特許情報登録日
2007/8/3
最新更新日
2009/1/9

基本情報

出願番号 特願2007-093057
出願日 2007/3/30
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-249589
公開日 2008/10/16
発明の名称 微量液滴塗布システム
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 インクジェット又はディスペンサを用いた塗布設備、生産プロセス管理、品質管理、塗出特性
目的 微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を高精度に計測することが可能な塗布量の計測方法及びその装置の開発。
効果 QCMセンサを用いて、微量の液滴もしくは液を塗布する塗布装置の塗布量を計測することで、ngレベルの塗布量を短時間で、かつ高精度に計測することが可能で、しかも塗布量制御のフィードバックが可能となる。小型であるQCMセンサを塗布装置の一部として組み込むことで、塗布量をその場計測で計測し、塗布量制御のフィードバックを実行することができる。
技術概要
この技術は、微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を高精度に計測する方法であって、水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)に付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測し、その計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行い、塗布量を制御し、それにより、塗布される微量の液滴又は液の塗布量を短時間で、かつ高精度に計測する。塗布装置に組み合せて配設したQCMセンサにより、周波数の変化量を計測することで、ngレベルの微量の液滴又は液の塗布量をその場(in−situ)計測で計測すること、また、計測値に基づいて塗布量の少又は多の評価を行い、その評価結果から塗布条件を変更することにより塗布量制御のフィードバックを行うこと、更に、塗布装置として、インクジェット又はディスペンサを用いることができる。QCMセンサは、通常、1cm程度のパレット状のものであり、塗布装置に簡単に取り付け可能であり、塗布量のその場計測にも有利である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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