球状結晶の製造方法及び製造装置

開放特許情報番号
L2007003664
開放特許情報登録日
2007/8/3
最新更新日
2008/11/14

基本情報

出願番号 特願2007-085090
出願日 2007/3/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-239438
公開日 2008/10/9
発明の名称 球状結晶の製造方法及び製造装置
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 光電変換装置、フォトニック結晶、球状ICチップ等に有用な球状結晶の製造に適用する。
目的 台板による特定の手段を用いる球状結晶の製造方法を提供する。
効果 結晶性の高い球状結晶を作製することができる。
技術概要
好ましくはシリコンからなる原料粒を、開口の半径dが原料粒の球状溶融時の半径より大きい凹部2が設けられた台板1の凹部2にそれぞれ入れて加熱炉に導入し、原料粒を溶融させた後、凝固させることによって球状結晶3を作製する球状結晶の製造方法にする(図)。好ましくは、凹部2は、底部が曲面であり、その曲率半径R及び開口の半径dが作製する球状シリコンの半径rよりも大きくし、更に、その凹部2を、サンドブラスト処理や、ダイヤモンド等の研磨剤で表面研磨して、平均粗さを0.1μm〜10μmにする。台板1としては、アルミナ、石英、窒化シリコン、立方晶窒化硼素等から選定された材料からなり、台板1の凹部表面には、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜の一種又は複数種から選定された膜を付着させて用いられる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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