平面度測定装置

開放特許情報番号
L2007003609
開放特許情報登録日
2007/8/3
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2007-060647
出願日 2007/3/9
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-224322
公開日 2008/9/25
登録番号 特許第4779155号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 平面度測定装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 機械、精密計測、精密加工
目的 測定の基準となる基準平面として液面を利用しつつ、測定精度の向上はもちろん、測定の操作性の向上およびを測定対象の制限の少ない実用的な平面度測定装置の提供。
効果 本技術によれば、特に、大きな平面の測定に用いた場合、従来のものと比較して高精度な測定を実現できる。又、測定基準を液面とするため、従来の基準を人工物としたものと比べて、安価な平面度測定装置を提供できる。
技術概要
本技術の平面度測定装置は、被測定面に沿って移動自在な平面度測定装置本体と、平面度測定装置本体から独立して準理想平面となる基準液面を形成する液槽を設け、平面度測定装置本体に、被測定面を機械的に倣う倣い手段および基準液面に対する上下動を計測する光式変位センサを上下動自在に装着し、基準液面と被測定面の差を測定することにより被測定面の平面度を測定する。即ち、光式変位センサを倣い手段と垂直同軸上に配置し、平面度測定装置本体の垂直方向にクロスローラガイドを設け、倣い手段および光式変位センサをステージに装着し、クロスローラガイドに沿ってステージを移動自在に構成する。また、倣い手段として測定輪を用いる。また、光式変位センサがレーザー式変位センサである。また、平面度測定装置本体の移動をガイドする水平方向ガイドレールを被測定面に沿って設ける。また、基準液面を形成する液槽が光式変位センサの移動経路に沿って所定長さを有して設けられる。また、液槽内にマルトース水溶液を収容して基準液面を形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT