折り返しタンデム型静電加速器を用いたコンパクト高エネルギー集束イオンビーム形成装置

開放特許情報番号
L2007003565
開放特許情報登録日
2007/8/3
最新更新日
2011/8/12

基本情報

出願番号 特願2005-312468
出願日 2005/10/27
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2007-123000
公開日 2007/5/17
発明の名称 折り返しタンデム型静電加速器を用いたコンパクト高エネルギー集束イオンビーム形成装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 高エネルギーの微小径イオンビーム形成方法、局所微量元素分析、物質表面の微細加工技術
目的 加速器と集束レンズ系を一体化とすることにより小型化を実現するとともに、加速器の加速管も集束レンズ系の一部とすることで装置全体の縮小率も最大化することで、ナノビームを形成する集束イオンビーム形成装置の提供。
効果 折り返しタンデム型静電加速器の前段にkeV領域のナノビーム形成装置を加速器と一体化して設け、ナノビーム形成装置で得られたナノビームを加速器の加速管で加速するとともに、その加速管(加速レンズ)にビームの集束レンズ効果を持たせて、その加速管を集束レンズの一部としても使用することにより、装置全体のビーム縮小率を大きくすることができる。
技術概要
この技術では、加速器の加速管(加速レンズ)の前段に、これまで開発してきたkeV領域のナノビーム形成装置を設置して、得られたナノビームを加速器の加速管に入射する。加速器では加速管の入口部の電極を最適化することで、単孔レンズ効果を持たせる。これにより加速管を集束レンズと見なすことができる。即ち、加速器が、折り返し型タンデム加速器であるため、高電圧ターミナル部に180°分析電磁石を置き、高エネルギー側の加速管の入口部にエネルギー分析及び発散制限スリット機能を有するスリットを設置する。再度、単孔レンズ効果を有する高エネルギー側の加速管によりビームを加速するとともに、集束を行い、MeV領域高エネルギーイオンナノビームを形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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