荷電粒子線用収差補正レンズ

開放特許情報番号
L2007003028
開放特許情報登録日
2007/6/15
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2007-044273
出願日 2007/2/23
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-210571
公開日 2008/9/11
登録番号 特許第4899158号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 荷電粒子線用収差補正レンズ
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 電子ビーム、イオンビーム等の荷電粒子線用の開口収差補正レンズ
目的 アライメント精度、励起制御を緩和する補正レンズ系の提供。
効果 本技術によれば、励起強度が増大するに従って厳しくなるアライメント精度を緩和することができる。また、開口収差を補正する前の四極子レンズによる開口収差係数を小さくすることができることで、厳しい設定精度を要する補正制御を緩和できる利点がある。
技術概要
この技術では、同一幾何学寸法を有する6段または8段の四極子レンズと3つの開口電極から構成される補正レンズまたは、6段または8段の十二極子レンズと3段以上の八極子レンズで構成される補正レンズにおいて、補正レンズの中心位置に対して幾何学的に対称な構造を有し、励起制御を極性が反対で、励起強度を等しくすることで、補正レンズ内でXZ面とYZ面でそれぞれ線状収束させると共に、補正レンズの中心位置付近で離軸距離が同程度となるように四極子レンズ励起強度を調整し、これらの位置近傍で開口収差係数を補正する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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