カーボンナノチューブからなる梁状体及びその製造方法

開放特許情報番号
L2007003022
開放特許情報登録日
2007/6/15
最新更新日
2016/6/1

基本情報

出願番号 特願2009-500215
出願日 2008/2/20
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2008/102813
公開日 2008/8/28
発明の名称 カーボンナノチューブからなる梁状体及びその製造方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 カーボンナノチューブからなる梁状体、マイクロマシン、MEMS
目的 異方性及び形状復元性を有するカーボンナノチューブ(CNT)集合体からなり、所望の位置に所望の形状で形成することのできる梁状体の提供。
効果 異方性及び形状復元性を有する梁状体を、所望の位置に所望の形状で容易に形成することができる。
技術概要
この技術では、複数のカーボンナノチューブ(CNT)からなる梁状体を、同一方向に配向した複数のCNTからなり、その重量密度が0.1〜1.5g/cm↑3、より好ましくは0.2〜1.5g/cm↑3のCNT集合体で形成する。このような複数のCNTからなる梁状体の製造方法は、金属触媒のパターンを表面に形成してなる基板を用い、金属触媒のパターンから複数のCNTを同一方向に化学気相成長させる化学気相成長工程と、複数のCNTからなるCNT集合体を基板の表面に倒伏させる倒伏工程と、基板の表面に倒伏したCNT集合体をその重量密度が0.1〜1.5g/cm↑3、より好ましくは0.2〜1.5g/cm↑3となるように高密度化する高密度化工程と、高密度化したCNT集合体の無用部分を選択的に除去する除去工程とを含むこととする。倒伏工程は、CNT集合体を液体に浸した後に引き上げて基板の表面に倒伏させる工程とし、高密度化工程は、倒伏工程の後に、CNT集合体を乾燥させる工程とすることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT