飛行時間型エネルギー分光装置

開放特許情報番号
L2007003008
開放特許情報登録日
2007/6/15
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2007-035239
出願日 2007/2/15
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-198570
公開日 2008/8/28
登録番号 特許第4936375号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 飛行時間型エネルギー分光装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 荷電粒子発散源、飛行時間型エネルギー分光装置
目的 励起光に起因する信号の裾が光電子信号と重ならないようにする飛行時間型エネルギー分光装置の提供。
効果 飛行時間法で荷電粒子のエネルギー分光を行うとき、試料によって反射散乱された励起光に起因する信号が大きくまた長く裾を引いてノイズとなり、荷電粒子信号の精度を損なっていた問題を解決でき、ノイズの発生を抑制し精度の高いエネルギースペクトルを取得することができるようになる。
技術概要
この技術では、飛行時間型エネルギー分光装置は、飛行管内壁から発生する二次電子の検出器への入射を制限する制限開口板を飛行管内に有するものとする。また、制限開口板の開口を、励起光を照射する試料上の場所と、検出器の感光部の周囲とを直線で結んだ領域により画成するものとする。さらに、制限開口板を複数とし、飛行管内壁のどの一点からも試料と検出器の感光部の両方へは直線で繋ぐことが出来ないように、それらを配置することが好ましい。飛行管の管壁は二次電子発生を抑制するためのメッシュで構成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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