光子又は粒子の計数方法

開放特許情報番号
L2007002993
開放特許情報登録日
2007/6/15
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2007-026982
出願日 2007/2/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-191044
公開日 2008/8/21
登録番号 特許第4831689号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光子又は粒子の計数方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 光子又は粒子の計数方法、高精度計測法
目的 この技術では、実際に測定を行う状態での検出器の数え落としに関する特性値をもとめて、正確に光子(又は粒子)数を測定する方法の提供。
効果 光子数又は粒子数の計数において、簡易な方法により検出器系の特性値である不感時間を算出し、不感時間に基づき正確な計数を行うことが可能となる。
技術概要
この技術では、検出システムで観測したスペクトルの中で測定対象エネルギー領域を定め、単位時間に検出器に入射する測定対象エネルギー領域部分に対応する光子(又は粒子)数を、一定値に保ち(変動させずに)、検出器に同時に入射する単位時間当たりの全光子(又は全粒子)数を変動させること、すなわち、測定対象エネルギー領域外の光子(又は粒子)数を変動させることにより、全検出器系の実効上の検出効率を変動させたデータを採取し、このデータを利用して、検出器系の数え落としに関する特性値(不感時間)を算出し、この特性値から光子(粒子)計数値をもとめる。計測対象としては、イオンを注入した試料、基板上に作成した薄膜試料若しくは表面汚染のように測定元素が基板上に存在する試料又は元素の深さ方向分布等である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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