配向カーボンナノチューブの製造装置および製造方法

開放特許情報番号
L2007002988
開放特許情報登録日
2007/6/15
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-557096
出願日 2008/2/4
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2008/096699
公開日 2008/8/14
登録番号 特許第5339281号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 配向カーボンナノチューブの製造装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 配向カーボンナノチューブ
目的 配向カーボンナノチューブ(CNT)をより一層安価に量産することができる配向CNTの製造装置および製造方法の提供。
効果 触媒の活性が高まると共に寿命が延長するので、配向CNTの成長を長時間継続させることが可能となる上、原料ガス並びに触媒賦活物質が無駄なく消費されるので、配向CNTを安価に量産することができる。
技術概要
この技術は、配向カーボンナノチューブ(CNT)の製造装置は、金属触媒被膜が形成された基板を受容する反応チャンバと、還元ガス、原料ガス及び触媒賦活物質の反応チャンバ内への供給手段(ガス供給管)とを備え、基板の触媒被膜形成面に直交する方向に配向するCNTを製造するための装置であって、原料ガス及び触媒賦活物質の供給手段が、基板の触媒被膜形成面を臨む位置に設けられた複数の噴出孔を備えており、かつ噴出孔の噴出方向が、金属触媒被膜から成長したCNTの配向方向に適合していることを特徴とする。触媒賦活物質としては含酸素化合物を用いる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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