セラミック接合体及びその製造方法

開放特許情報番号
L2007002883
開放特許情報登録日
2007/6/1
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2007-018056
出願日 2007/1/29
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-184352
公開日 2008/8/14
登録番号 特許第5067751号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 セラミック接合体及びその製造方法
技術分野 機械・加工、無機材料
機能 機械・部品の製造、接着・剥離
適用製品 セラミック大型部材、セラミックス接合体、XYステージ
目的 大型部材に適用できる、高精度、高密度で安定な接合部を有するセラミックス接合体及びその製造方法の提供。
効果 高精度、高密度で安定な接合部を有するセラミック接合体を作製し、提供することができる。また、反応焼結を利用して窒化ケイ素の接合を行う方法と比べて、充填部の密度を高め、熱処理過程で接合面距離を変化させることなく、安定した強度を有するセラミック接合体を作製することができる。
技術概要
この技術では、窒化ケイ素を主成分とし、接合部を有するセラミック接合体において、向かい合う接合面が共に嵌め合いとなる形状を有するものとすると共に、接合面間の空隙を反応焼結を含む工程を経て合成した窒化ケイ素基材料により充填して、それらを強固に結合するものとする。接合面間に充填した反応焼結を含む工程を経て合成した窒化ケイ素基材料の気孔率は、多くとも40%とする。また、接合面間に充填した反応焼結を含む工程を経て合成した窒化ケイ素基材料は、酸素及びFe,Ce,Al,Mg,Yの少なくとも1種を含むものとする。このセラミック接合体は、ケイ素を含むセラミック成形体の嵌め合い部に、同じくケイ素を含むスラリー乃至ペーストの接合材を充填する工程と、成形体を嵌め合あわせ、その状態で、脱脂し、窒素を含む雰囲気中で焼成し、嵌め合い部を嵌め合い構造と焼成前の接合材自体の付着力により固定することにより、成形体及び充填部を窒化、焼結・緻密化、そして結合を同時に行って製造するものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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